二维光栅纳米位移测量系统的设计与分析

摘要：

文章提出了一种以衍射光栅为基准件的二维纳米位移测量系统，阐述了系统的组成和光路结构．分析了系统的测量原理。最后利用Lighttools软件对系统的光学结构进行仿真设计，研究系统干涉信号的变化规律，为后续的光路优化和误差补偿提供了理论模型。

关键词：衍射光栅、干涉、位移测量、Lighttools软件

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2012-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：19-23