TFT-LCD生产工艺环境

摘要：

文章介绍了TFT-LCD的生产工艺环境,主要阐述了洁净室的管理和在洁净室的一些操作流程。洁净室的洁净等级非常重要,它将直接影响到TFT-LCD生产的合格性,如果没有良好的洁净度等级,那产品的成品率会大大地降低。对于洁净室的管理,必须要做到不带入、不产生和不积累任何的灰尘,这样才可以保证产品生产的正常运行。

关键词：洁净室、静电、温度、湿度、污染

分类号：TN141.9(真空电子技术)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：8-11