基于激光散射原理的表面粗糙度测量方法研究

摘要：

文章基于Beckmann散射模型,提出一种表面粗糙度的在线测量方法.以半导体激光器为光源构成远心光路,通过线阵CCD记录粗糙物体表面的散射光场.计算机分析处理得到表面粗糙度特征值Sn,在较大的范围内表面粗糙度Ra和Sn有很好的对应关系.该测量方法结构简单、精度高、速度快,可以对不同加工方法的工件表面粗糙度实现非接触实时检测,在工件的在线检测方面有很好的发展前景.

关键词：表面粗糙度、散射、光散射特征值、在线检测

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2011-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：32-34,49