关于TFT-LCD中Gate Pad腐蚀的分析及改善

摘要：

腐蚀问题一直是影响产品品质的一大罪魁,在TFT-LCD(thin film transistor-liquid crystal display)以及其它显示器件产品中,由于腐蚀造成的亮线、异常显示等不良严重影响到产品的使用效果.文章结合实际生产情况,对栅极Pad腐蚀多发不良进行了理论研究,并从设计、工艺等角度提出了多项解决方案.根据实验测试结果,腐蚀问题得到了很好的控制,不良比率降低80%以上,产品品质得到了有效的保证,并为相关领域实际生产及研究奠定了一定的理论基础.

关键词：薄膜晶体管、栅极、腐蚀

分类号：TN141.9(真空电子技术)

在线出版日期：2011-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：36-40