综述:低温多晶硅技术

摘要：

低温多晶硅技术是有源矩阵LCD领域的一项关键技术,它的未来会怎样,而目前它是否又得到了充分应用呢?此文章将解答这些问题.

关键词：非晶硅、多晶硅、低温多晶硅

分类号：TN141.9(真空电子技术)

在线出版日期：2010-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：5-7