PDP制作中的曝光技术

摘要：

随着等离子显示器(PDP)制作技术的逐渐成熟,光刻技术在PDP的制作中也越来越重要.本文论述了在PDP制作中影响曝光质量的有关因素,从曝光的主要影响因素进行阐述.并结合实例进行了分析论证.

关键词：曝光量、间隙、照度、曝光时间、母版

分类号：TN141.5(真空电子技术)

在线出版日期：2008-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：44-47