TFT-LCD生产中毛刷清洗工艺的研究

摘要：

以玻璃基板表面残留的各种微粒(Particles)的去除率为依据,研究TFT-LCD生产清洗工艺中毛刷的旋转方向、旋转速度和毛刷相对玻璃的压入量等因素对玻璃基板表面particles清洗效果的影响,探讨这些因素的作用机理,为TFT-LCD生产以提供最佳的清洗工艺方法.

关键词：TFT-LCD、清洗、毛刷、Particle去除率

分类号：TN949.192

在线出版日期：2007-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：54-56