发展容易集成加工的高功能有机薄膜晶体管

摘要：

描述了近10年来开发容易集成加工的高功能有机薄膜晶体管方面所取得的成就.针对有机薄膜晶体管存在金属、氧化物和有机物三相交汇点这个明显的结构缺陷,以克服高介电绝缘栅漏电问题为基础,综合考虑器件加工的方便性与一致性、界面态和空间电场分布等因素,设计并优化出双绝缘栅和夹心型器件结构.通过引入缓冲层有效地降低了电极与半导体之间的接触电阻,使器件的性能能够满足有源矩阵显示的需要.

关键词：有机薄膜晶体管、漏电、接触电阻

分类号：TN321(半导体技术)

在线出版日期：2007-09-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：18-22