LCD相关原材料产业发展态势(下)

摘要：

@@ (上接2007年第3期32页)
4 ITO玻璃
通常在基片玻璃上用电子束蒸发或在氧气气氛中溅射得到ITO膜,膜厚在100～300 nm之间,由所需的电阻所确定.

机标关键词：材料产业、电子束蒸发、氧气气氛、玻璃、膜厚、溅射、基片、电阻

分类号：F4(工业经济)

在线出版日期：2007-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：28-32