TFT-LCD工艺与静电击穿

摘要：

薄膜晶体管液晶显示器(thin film transistor-liquid crystal display,TFT-LCD的制造工艺是一个复杂的过程,各个环节都可能发生静电击穿(electrostatic discharge,ESD)现象,导致TFT-LCD器件被破坏,极大地影响了良品率.本文根据薄膜晶体管(TFT)生产工艺的实际情况,阐述了产线里各类产品型号的ESD发生状况.在此基础上,对各种设计、工艺过程和工艺参数对ESD造成的影响进行了分析研究,为实际的生产提供了指导作用.

关键词：薄膜晶体管液晶显示器、静电击穿、电场强度

分类号：TN87(无线电设备、电信设备)

在线出版日期：2007-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：59-63,42