COG制程中的紫外光清洗工艺研究

摘要：

紫外光清洗技术是液晶显示器生产过程中的一项重要工艺,同时也是一种有效保障COG制程中良品率的技术手段.本文解释了紫外光清洗的工作原理,从LCD企业的生产实际出发,通过一系列的实验对VUV和E-UV两种紫外光清洗技术的清洗效果进行了对比,并选择出了最佳的E-UV清洗工艺;然后对E-UV清洗的照射时间、照射功率以及照射距离等参数进行了优化,得到了最佳工艺参数;最终企业的量产实验印证了E-UV清洗最佳优化参数的正确性.

关键词：液晶显示器、紫外光清洗、接触角

分类号：TN14(真空电子技术)

资助基金：国家自然科学基金20476054;陕西省教育厅资助项目03JK1610

在线出版日期：2006-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：45-48