10.3969/j.issn.1006-6268.2006.09.002
液晶显示用玻璃的ITO镀层
在LCD生产中,从平板靶溅射ITO已是一项非常成熟的工艺,但如果转而采用旋转柱状靶,则可大大降低镀膜基板的成本.
平板靶、旋转柱状靶、溅射
TN14(真空电子技术)
2006-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
9-12
10.3969/j.issn.1006-6268.2006.09.002
平板靶、旋转柱状靶、溅射
TN14(真空电子技术)
2006-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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