用于场发射显示器的火山口型场发射阴极

摘要：

介绍一种国内外研究的用于场发射显示器的火山口型场发射阴极,它相对于尖锥型场发射阴极来说,具有制作方法简单,制作成本更低,发射一致性更好,更适合大规模工业化生产.但不足之处是发射电流密度太小和有较大的栅极电流.文章详细介绍了火山口型场发射阴极的制作过程,分析并测试了其发射性能以及转移到玻璃基底上的制作方法.最后还介绍了火山口型场发射阴极的改进型-跑道型场发射阴极.

关键词：火山口、场发射阴极、场致发射显示器

分类号：TN383(半导体技术)

在线出版日期：2006-08-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：40-44