多晶硅TFT的发展与应用

摘要：

多晶硅TFT具有优良的电学性能,在显示中能够提供更亮、更精细的画面,被视为非晶硅TFT的理想替代品而被广泛地研究.本文主要评述非晶硅的晶化机理和主要研究结构,并简要介绍其应用.

关键词：多晶硅、晶化机理、薄膜晶体管

分类号：TN141.9(真空电子技术)

在线出版日期：2005-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：9-14