等离子体处理过的基板上液晶平行取向的两种模式

摘要：

我们提出了一种用于液晶盒的新取向工艺,可以得到0或非0的预倾角.这项工艺是用定向的等离子体流倾斜辐照基板.我们用一个阳极层发射器(anode lager thruster)作为等离子体辐射源,以产生层状的等离子体流.它适合于处理大面积基板,可以处理有机(聚合物)和无机(玻璃,ITO)层.等离子体流辐照可以得到两种类型的液晶取向:(1)最可及(择优)取向轴位于离子束方向和基板法线组成的入射平面上;(2)最可及取向轴垂直于入射面.随着照射总剂量的增加,取向方向可以从类型(1)向类型(2)转变.在第一种取向模式中,可以通过改变工艺参数,如入射角、离子流密度和离子能等来改变预倾角.第二种取向模式的特征是预倾角为0.第一种模式的方位锚泊能系数相对较弱(W=10-3 Erg/cm2),而第二种类型锚泊能很强(W＞10-1 Erg/cm2),与摩擦聚合物基板相当.两种模式的取向特征可以用来产生满足所需参数的取向,和构图(pattern)液晶盒基板.这种工艺方法可以克服传统摩擦工艺的某些缺点.

关键词：液晶取向模式、新取向工艺、锚泊能

分类号：TN141.9(真空电子技术)

在线出版日期：2004-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：26-30