微细加工技术在有机电致发光器件中的应用

摘要：

有机电致发光器件是近年来出现的一种新型显示技术.为了实现高分辨率及改善器件的发光性能,多种传统的及新兴的微细加工技术已被应用到该技术中,而且针对该技术还发展了阴极隔离柱等新技术.总结了应用于有机电致发光器件的几种典型微细加工技术,并介绍了它们各自的特点及其在发光器件中的具体应用.

关键词：微细加工、有机电致发光器件、软刻蚀

分类号：TN383.1(半导体技术)

在线出版日期：2003-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：33-38