直接转换X光数字传感器的高占空比TFT阵列

摘要：

本文介绍一种用于直接转换X光传感器的、尺寸为14in×8.5in、象素数为1536×2560的TFT阵列的制造及工作原理.讨论了高占空比AM LCD中的TFT矩阵在工艺及设计方面的类似性,它采用了一种低κ值的互连-隔离(inter-level)绝缘层以改善其特性.

关键词：X光传感器、TFT阵列

分类号：TN141.9(真空电子技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：32-37