复杂腔体件表面磁控溅射镀膜关键技术的研究

摘要：

多轮廓型腔结构件具有复杂的内腔,采用化学镀膜方法在对工件内腔镀膜过程中存在膜基结合力差、薄膜厚度不均匀致密、内腔死角无法镀膜以及环境污染等诸多问题.磁控溅射镀膜技术作为一种新型镀膜工艺,其镀膜均匀致密且绿色无污染,能良好地应用于多轮廓型腔结构件中.论述了不同磁控溅射镀膜方法的特点,以及磁控溅射镀膜在复杂型腔结构件中的关键技术.

关键词：磁控溅射、复杂型腔、绿色环保、表面镀膜、关键技术

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：江苏省基础研究计划自然科学基金面上研究项目“多轮廓型腔结构件磁控溅射类金刚石碳膜附着机理研究”BK20151220

在线出版日期：2018-04-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：80-83