机电耦合中微开关悬臂梁的瞬态分析

摘要：

在微机电开关梁的设计过程中,对其吸合过程的响应时间的分析具有重要的意义.对静电力驱动的微开关梁的瞬态分析用于确定设计中的结构或机器部件的响应时间是必要的.运用ANSYS软件对微梁模型进行机电耦合分析,采用Trans126换能器单元的直接耦合静电—结构分析模型,分析了微梁的瞬态特性,得出微梁的吸合时间随着厚度的增大而增大.

关键词：微梁、机电耦合、Tran126、瞬态分析

分类号：TN304(半导体技术)

在线出版日期：2013-03-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：66-68