压电式微位移机构的现状与趋势

摘要：

在精密和超精密加工与测量、大规模集成电路制造、微型机械制造、扫描隧道显微镜微测量以及精密光学工程等诸多尖端科技领域中,当运动分辩率达到亚微米级或纳米级时,压电式微位移机构在微进给定位上体现出了自身的优势.本文在介绍压电材料驱动原理的基础上,重点介绍了国内外压电式微位移机构的研究现状和一些典型样机.比较了压电式微位移机构的特点,提出了压电式微位移机构研究方向和应用趋势及应注重的问题.

关键词：压电材料、微位移、机构

分类号：TH13

资助基金：教育部中青年骨干教师基金

在线出版日期：2005-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-35,52