三维微细光刻成型技术及其发展概况

摘要：

简要介绍了三维光成型技术的原理以及现阶段可以用来进行微细加工的方法;着重介绍了微光成型技术的发展和研究现状及其成果.

关键词：微型机械、微细加工、微光成型技术、紫外光硬化树脂

分类号：O3(力学)

资助基金：国防预研基金98002

在线出版日期：2005-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-35,39