CVD法制备硅硼碳氮陶瓷的化学反应热力学研究

摘要：

本文针对制备SiBCN 陶瓷所用的SiCl3CH3–BCl3–NH3–H2体系，基于已建立的热化学数据库，根据化学平衡原理，确定了不同工艺参数下各反应体系中一些重要产物的平衡产量分布，给出了相应体系的固相产物分布规律，为实验研究提供可靠的理论参考。

关键词：硅硼碳氮陶瓷、CVD、热力学计算

所属期刊栏目：37

分类号：O642(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家自然科学基金50572089,50642039。

在线出版日期：2016-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：290-295