Si-B-C-N-H-Cl体系CVD气相产物热力学数据的计算

摘要：

本文采用基于量子力学的理论方法计算获得了Si–B–C–N–H–Cl 体系CVD过程中所有气相产物的热力学数据，包括分子在298.15 K~2000 K的标准摩尔热容，标准摩尔熵、标准摩尔生成焓和标准摩尔生成吉布斯自由能等，为含Si–B–C–N–H–Cl元素的任意先驱体体系反应热力学研究提供了基础数据。

关键词：硅硼碳氮陶瓷、CVD、热力学计算

所属期刊栏目：37

分类号：O642(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家自然科学基金50572089,50642039。

在线出版日期：2016-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：280-289