光刻机用精密碳化硅陶瓷部件制备技术

摘要：

本文介绍了光刻机用碳化硅陶瓷结构件的特点及其对材料的要求，分析了碳化硅陶瓷在光刻机中作为结构件材料使用的优势，着重介绍了中国建筑材料科学研究总院在精密碳化硅结构件的制备领域所取得的技术成果，列举了精密碳化硅结构件在光刻机等集成电路制造关键装备中的应用。

关键词：碳化硅、凝胶注模、素坯加工、反应连接、化学气相沉积、集成电路、光刻机

所属期刊栏目：37

分类号：TB321(工程材料学)

在线出版日期：2016-07-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：168-178