AlN陶瓷的性能及应用

摘要：

AlN陶瓷具有高硬度、与硅相接近的线膨胀系数、高电阻率、低介电常数、低介电损耗以及无毒、耐高温、耐腐蚀等特性,力学性能良好,在电子、机械、复合材料等领域有着广泛的应用.尤其是因为具有高热导率,AlN陶瓷已经成为理想的半导体基板和封装材料之一.本文回顾了AlN陶瓷的发展历程,着重评述了AlN陶瓷的制备技术、性能及应用等方面的研究进展,并对其面临的技术困难及发展方向进行了展望.

关键词：AlN陶瓷、制备工艺、热导率

所属期刊栏目：37

分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金61201051;国家科技重大专项02专项2013ZX02104-001-002

在线出版日期：2016-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：22-33