低介电氧氮化硅陶瓷的研制

摘要：

以氮化硅为主体,外加二氧化硅,研制低密度、高强、低介电的氧氮化硅陶瓷材料.通过分析材料烧结体的XRD物相图、材料的各项性能、材料的显微结构,得出二氧化硅含量对材料性能的影响规律,从而确定了材料最佳配方.

关键词：氮化硅、氧氮化硅、介电常数、介电损耗

所属期刊栏目：30

分类号：TQ3;TM2

在线出版日期：2009-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：8-11