氮化硅薄膜制备方法现状综述

摘要：

氮化硅薄膜是一种多功能材料,在许多领域有着广泛的应用.本文系统综述氮化硅薄膜的性质、结构、应用及各种制备方法,并对今后的研究作了展望.

关键词：氮化硅薄膜、制备方法、化学气相沉积

所属期刊栏目：28

分类号：TQ17

在线出版日期：2007-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：12-18