热处理温度对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜结构与性能影响的研究

摘要：

采用HPAgilent4294A阻抗分析仪、X衍射、扫描电镜等测试方法研究了热处理温度对BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜结构与性能的影响.当升/降温速率为0 5～1℃/min时,得到的薄膜表面均匀、无裂纹、孔洞.经过750℃退火处理后,薄膜的介电性能最佳,即具有较高的相对介电常数和较小的介质损耗.

关键词：升/降温速率、退火、钛酸锶钡薄膜、介电性能、结构特征

所属期刊栏目：27

分类号：TQ17

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-19