二氧化硅基波导薄膜的制备方法综述

摘要：

总结了目前制备二氧化硅基波导薄膜的各种制备工艺,包括广泛采用的等离子增强化学气相沉积法(PECVD)、火焰水解法(FHD)、低压化学气相沉积法、溅射法、离子交换法、离子注入法和溶胶-凝胶法等制备方法,并对各种工艺的原理、特点和应用现状进行了详细的介绍

关键词：SiO2基波导薄膜、制备方法

所属期刊栏目：27

分类号：TQ17

在线出版日期：2006-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：29-31