透明导电氧化物薄膜的研究现状及展望

摘要：

综述了TCO薄膜的研究现状,ITO和ZAO薄膜是2种主要的TCO薄膜,其中ITO薄膜是目前应用最广泛的薄膜,ZAO薄膜是目前研究的热点,具有替代ITO的潜能.另外,就透明导电膜目前存在的问题以及发展展望进行了分析讨论.

关键词：透明导电、薄膜、TCO、ITO、ZAO

所属期刊栏目：27

分类号：TQ174

在线出版日期：2006-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：19-23