一种高精度宽量程MEMS组合加速度计设计与优化

摘要：

为了实现大温差宽量程范围内高精度测量载体的加速度、并稳定输出模拟信号与数字信号,文中设计改进一种车载MEMS加速度计.首先通过分析两种加速度计在0g附近的测量精度,然后比对两种电源稳压芯片在大温差范围内的稳定性和两种数/模转换器的分辨率和精度,找出高低温变化时零位温度偏移过大的原因,最后设计多组对照实验进行验证.解决了高低温情况下零位输出温度偏移过大的问题.最终实现了-45～85℃全温范围内零偏变化小于5 mg,改进后的高低温相对常温的零位最大偏差均方差提高了21.42倍,满足了项目要求.

关键词：加速度计、车载MEMS、芯片稳定性、转换器精度、温度偏移、测量精度、对照实验

所属期刊栏目：44

分类号：TN379⁃34(半导体技术)

资助基金：北京市教委科技重点项目;北京市传感器重点实验室开放基金

在线出版日期：2021-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-38