压电陶瓷驱动系统的设计与研究

摘要：

针对光刻机投影物镜中使用压电陶瓷对像质补偿镜组进行精密定位控制的需求,设计一种压电陶瓷驱动系统,并着重对其精度性能进行了分析与研究.首先对系统进行了误差项分解,然后对各误差项进行详细的理论计算,最后将所有误差项的影响按最差情况合成,所得结果满足设计要求.进而试制了系统样机,并对其性能进行实验验证,结果表明,压电陶瓷驱动系统的误差不超过80 mV,与理论分析的结果符合,满足压电陶瓷驱动系统的设计指标.

关键词：压电陶瓷、驱动系统、系统设计、误差项分解、精度分析、实验验证

所属期刊栏目：43

分类号：TN876⁃34(无线电设备、电信设备)

资助基金：国家自然科学基金面上项目61973067

在线出版日期：2020-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：34-37