一种步进式压电陶瓷驱动器负载模型研究

摘要：

为了能够准确高效地以步进式压电陶瓷驱动器进行定位控制,文中对其在不同负载力条件下的位移性能进行了研究.首先,设计和实施了测定驱动器位移-负载力曲线的实验;然后,通过高阶多项式拟合的方法对实验结果进行拟合,分析得到可用的拟合结果,将其作为被测驱动器的位移-负载力关系;最后,随机选取了其他的负载力条件,将实测位移量与通过拟合曲线进行计算的结果进行对比,验证该位移-负载力模型的准确性.实验结果表明,使用该方法获得的步进式压电陶瓷驱动器的位移-负载力模型可用2阶多项式关系进行描述,与实测值的误差约为1％,可为后续针对该驱动器进行定位控制算法设计提供支撑.

关键词：压电陶瓷、步进式驱动器、定位控制、负载实验、多项式拟合、数据分析

所属期刊栏目：43

分类号：TN305.7-34(半导体技术)

资助基金：国家科技重大专项基金资助项目2009ZX02205

在线出版日期：2020-03-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：14-16,19