高量程微加速度计的可靠性强化实验及分析

摘要：

由于微加速度计的可靠性已经成为产品商业化过程中必须解决的一个重要问题,而冲击环境作用下导致微加速度计性能失效是微加速度计经常要面对的主要问题.针对高冲击对微加速度计破坏的影响进行可靠性研究.利用AN-SYS有限元仿真进行分析初步得到失效模式和机理,设计并实施了微加速度计在冲击环境下的可靠性强化实验得到在冲击环境下的主要失效模式,并进行了相应分析,通过实验得到数据进行微加速度计的可靠性评估.通过可靠性强化实验进行验证,对微加速度计在冲击环境下的可靠性进行评估,并折算出在冲击影响作用下的平均寿命和可靠寿命以及绘制出其可靠度曲线.

关键词：高量程微加速度计、失效分析、可靠性强化实验、ANSYS仿真、可靠性评估、冲击环境

所属期刊栏目：41

分类号：TN303-34;TB114.3(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金项目资助:振动驱动MEMS压电-磁电复合微能源技术研究51075374 Project Supported by National Natural Science Foundation of China:Research on Vibratory MEMS Piezoelectric and Electromagnetic Hybrid Micro-Energy Technology51075374

在线出版日期：2018-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：57-63