多自由度运动误差在线测量系统设计

摘要：

针对传统多自由度运动误差测量系统一直存在易受工作环境影响,误差测量稳定性差的问题,提出并设计基于激光干涉仪的多自由度运动误差在线测量系统.通过分析激光干涉仪误差测量原理,在传统运动误差测量系统中引入激光干涉仪,利用激光干涉现象对多自由度运动物体精确测定,建立多自由度运动误差在线测量数学模型,实现多自由度运动误差的测量.实验结果表明,相比传统测量系统,改进设计的多自由度运动误差在线测量系统,具有良好的抗干扰能力及较高的测量准确性.

关键词：激光干涉仪、多自由度、运动误差、测量稳定性、在线测量、系统设计

所属期刊栏目：41

分类号：TN98-34;TN913

资助基金：国家自然科学基金21171179 Project Supported by National Natural Science Foundation of China21171179

在线出版日期：2018-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：22-25