MEMS陀螺器件与驱动电路的相位关系研究

摘要：

为了指导高性能MEMS陀螺的驱动电路设计,针对MEMS陀螺器件与外围驱动电路之间存在的"激励电压、静电力、质量块位移、检测电容变化、检测电流、检测电压"五次信号转换进行了详细研究,获得了确切的相位关系,建立传输函数模型.最终根据推得的总体相位关系,设计并实现了一款基于锁相技术的闭环驱动电路.测试结果表明,MEMS陀螺系统能在3 s内可靠起振且无振铃,稳定振荡频率为10.33 kHz,稳定振荡幅度为2.05 V.该测试结果验证了此相位关系研究的必要性与正确性,此研究同样适用于其他静电驱动、电容检测式MEMS传感器.

关键词：MEMS传感器、MEMS陀螺、驱动电路、接口电路、相位关系、锁相环

所属期刊栏目：41

分类号：TN431.1-34;V241.5;TP211.4(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61234007 Project Supported by National Natural Science Foundation of China61234007

在线出版日期：2018-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：100-103,108