基于MEMS海洋湍流传感器实验研究

摘要：

运用压阻式的基本原理和MEMS技术共同应用于海洋湍流传感器中.首先分析MEMS传感器的基本原理,重点研究了对MEMS传感器性能的实验测试.在风洞实验中,设计有风没风交替作用于传感器和不同风速下作用于传感器的实验;在水下实验中,设计了不同流速下水流作用于传感器的实验.通过实验能够得到MEMS传感器在不同响应下的结果.

关键词：MEMS、海洋湍流传感器、惠斯通电桥、风洞实验

所属期刊栏目：39

分类号：TN61-34(电子元件、组件)

资助基金：国家863项目2014AA093404

在线出版日期：2016-01-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：137-139