碳纳米涂层材料的二次电子发射系数及工艺研究

摘要：

采用电泳沉积制备薄膜的方法,在铝合金镀银片上均匀的涂覆纳米碳涂层,研究了不同的电泳电压及电泳时间对涂层形貌结构的影响.扫描电子显微镜(SEM)、二次电子发射系数(SEY)测试结果表明,保持阴阳极间距为1 cm,在30 V的直流电压下电泳15 min所获得的样片涂层均匀、连续、致密且具有明显的陷阱结构.实验表明,其SEY最大值σmax达到2.03,对应的入射能量为500 eV,E1能量点在60 eV.使用Ar离子轰击清洗表面10 min后,样片的SEY最大值σmax达到1.76,对应的入射能量Emax为400 eV,E1能重点在80 eV.

关键词：纳米碳涂层、电泳沉积、薄膜、二次电子发射、SEY

所属期刊栏目：35

分类号：TN710-34(基本电子电路)

资助基金：国家重点实验室基金9140C5304011003

在线出版日期：2012-12-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：143-145