ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究

摘要：

阐述原子层沉积系统(ALD)中射频阻抗匹配器的设计方案.利用ADS软件对阻抗匹配网络进行仿真,通过分析ALD真空腔室内等离子体产生前后的负载阻抗变化,结合仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制方法.经实验验证,该阻抗匹配器和控制方法可实现阻抗匹配.

关键词：射频阻抗匹配器、阻抗匹配网络、ALD、ADS

所属期刊栏目：35

分类号：TN710-34(基本电子电路)

资助基金：国家科技重大专项2009ZX02037

在线出版日期：2012-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：202-203,206