X波段MEMS分布式移相器开关机电性能研究

摘要：

介绍一种应用于X波段MEMS分布式移相器的新型单元开关.MEMS分布式移相器具有高品质因数、低插损、低功耗和高隔离度的优点,但由于传统MEMS开关采用固支梁结构,弹性系数过大,下拉电压过高,无法与传统电子系统相兼容,大大限制了其应用和发展.基于此设计一种新型单元开关,采用弹性弯曲结构取代传统固支梁结构,并在MEMS金属梁上刻蚀释放孔,极大降低了单元开关的弹性系数,从而实现了超低下拉电压6 V.通过理论分析,给出MEMS开关弹性系数、下拉电压的解析公式,并使用ANSYS进行了仿真分析.

关键词：X波段、射频微机电、分布式移相器、机电耦合性能

分类号：TN911

资助基金：预研基金项目9140A230604;中国工程物理研究院科技发展基金重点项目2008A0403016

在线出版日期：2010-09-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

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