基于器件仿真的参数提取方法研究

摘要：

介绍器件参数提取的意义,并对基于工艺的参数提取和基于器件仿真的参数提取两种方法进行了比较.根据0.35 μm SOI CMOS工艺参数,构造出部分耗尽SOI NMOS结构.基于BSIM SOI模型采用局部优化,单器件提取的策略进行参数提取.最后通过将仿真与实际测试得到的参数比较,验证了该方法的准确性.

关键词：SOI、参数提取、器件仿真、工艺参数

所属期刊栏目：33

分类号：TP274;TN710(自动化技术及设备)

在线出版日期：2010-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：6-8