ITO薄膜激光刻蚀设备匀光系统的Matlab实现

摘要：

在简要分析目前激光微细加工系统中存在问题的基础上,设计一种能将能量呈高斯分布的激光束转变为类平预光束的匀光系统.介绍匀光系统的机械结构和光学原理,重点利用Matlab图形绘制功能,设计合理参数对匀光系统进行仿真,从而验证设计的合理性.最后简述了目前已经成熟的光束整形技术,该匀光系统原理简单、功能卓越、使用简洁,在激光微细加工领域有很好的应用前景.

关键词：ITO薄膜激光刻蚀设备、匀光系统、Matlab仿真、光束整形

所属期刊栏目：33

分类号：TP29(自动化技术及设备)

在线出版日期：2010-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：164-166