一种高纯气体微量水微量氧自动检测装置

摘要：

介绍了一种具有实时在线测量功能的高纯气体微量水微量氧自动检测装置,详细阐述了该装置的结构组成和性能特点,包括装置的硬件系统、软件系统、主要技术指标及研制过程中解决的关键技术和创新点.实践表明,此微量水微量氧自动检测装置成本较低、性能稳定可靠、精度较高,实现了小型化、自动化和智能化.

关键词：高纯气体、微量水、微量氧、自动检测

所属期刊栏目：31

分类号：TP202(自动化技术及设备)

在线出版日期：2008-07-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：133-134,142