高灵敏度室温锑化铟红外探测器研制

摘要：

通过对室温工作的光导型锑化铟红外探测器的设计与工艺研究,在理论分析和工艺实验的基础上,优选制造灵敏元的材料,精心设计探测器的光学系统,改进制造工艺,实现对灵敏元精密腐蚀的有效控制等.研制成功的电压响应率达103 V/W,黑体探测率达1010 cm·Hz1/2·W-1左右,光谱响应范围2～8 μm,响应时间≤2×10-8 s的高性能、高稳定、高可靠器件.

关键词：室温、锑化铟、探测器、高灵敏度

所属期刊栏目：30

分类号：TN36(半导体技术)

在线出版日期：2007-03-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：182-183,191