真空蒸镀热反射玻璃电清洗工艺研究

摘要：

分析了蒸镀热反射膜时电清洗玻璃的必要性,提出了在真空室体中设置栅极并加以负高压,采用氩气产生等离子场并用其轰击清洗玻璃表面的方法.实验确定了蒸镀热反射膜(Ni/Cr)时的最佳轰击清洗时间.

关键词：真空蒸镀、热反射玻璃、轰击清洗、附着力

所属期刊栏目：16

分类号：TQ171.72+4

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：66-69