碳纳米管场电子发射性能不稳定性的分析

摘要：

利用等离子体增强热丝化学气相沉积制备了多壁碳纳米管,并测试了它的场电子发射性能,发现碳纳米管的场电子发射性能在测量过程中发生了变化.利用X射线能谱仪对碳纳米管进行了表征,结果表明氧吸附在碳纳米管上.氧的吸附导致了碳纳米管的功函数发生了变化,造成碳纳米管场电子发射性能不稳定.同时,本工作还分析了氢的吸附可能对碳纳米管场电子性能的影响.因此,本工作对碳纳米管在微电子领域的应用有一定的意义.

关键词：碳纳米管、场电子发射、氧吸附

分类号：O462.4(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：重庆工学院科研启动基金

在线出版日期：2009-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：61-64