反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究

摘要：

介绍的一种反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究.利用现有实验设备,通过多次实验摸索,找到了一条实现反磁悬浮涡流旋转微陀螺下定子合理的工艺路径,并进行了测试,测试显示定子结构完整正常.

关键词：微陀螺、反磁悬浮、涡流旋转、下定子工艺

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60402003;国防预研基金资助项目9140A09020706JW0314

在线出版日期：2009-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：45-47