微气泡在矩形铂膜加热器上的控制性生长及振动

摘要：

采用标准MEMS加工工艺,设计出了5个50μm×20μm的串联铂膜微加热器并将其置于并联流动微通道内;在脉冲加热下观察铂膜上气泡的生长行为,实验研究了主流过冷度、流速以及铂膜功率等因素对气泡生长的影响;结果表明,气泡的生长延迟间差随着主流过冷度和流速的增大而增大,随着铂膜功率的提高而缩短;高功率小流速时,气泡直径较大,但流速的提高会使气泡脱离直径变大;气泡生长的同时伴随着纵向和横向跳跃:前者与流速有关,后者与串联铂膜上气泡间的相互影响有关,但流速是影响两个方向上跳跃幅值的主要因素.

关键词：铂膜微加热器、脉冲加热、流动沸腾、气泡振动

分类号：TK32(热工量测和热工自动控制)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50776089;广东省自然科学基金资助项目07000742

在线出版日期：2009-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：41-44,57