SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现

摘要：

设计了一种基于SOI技术的压阻式抗冲击微加速度计,解决了电阻在高温时产生漏电流问题,有效扩展了其温度应用范围.设计方案合理应用光刻、ICP刻蚀等先进技术使其工艺得到实现.研究为下步耐高温压阻式传感器的制作提供了依据.

关键词：高温、抗冲击、微加速度传感器、SOI

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2009-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：26-27,64