超薄阳极氧化铝模版的制备

摘要：

采用二次阳极氧化铝的方法制备出厚度仅为509 nm超薄多孔阳极氧化铝模版,氧化铝模版上孔洞大小均匀.呈完美的六角分布,孔径为35 nm左右,孔间距约为100 nm.成功地将多孔阳极氧化铝模版转移到硅衬底上,并在磷酸溶液中通孔,使薄膜上小孔双向贯通.可以十分方便的利用该模版合成纳米点、纳米柱等纳米结构.

关键词：阳极氧化铝、超薄、纳米结构

分类号：TN304.055(半导体技术)

资助基金：国家973计划资助项目2007CB613404;国家863计划资助项目2006AA032415;国家自然科学基金资助项目60676005

在线出版日期：2009-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：12-15